超聲波清洗技術在濺射靶（bǎ）材清洗中的應用（yòng）
2024年07月22日
靶（bǎ）材，也稱為濺射靶材，是在高速（sù）荷（hé）能（néng）粒子轟擊下作為目（mù）標材料的物質。通（tōng）過不同的激光（離子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜係，實現導電或（huò）阻擋（dǎng）等功（gōng）能。靶材廣（guǎng）泛應用於科學實驗和工業加工中，如高能物理（lǐ）實驗、材料分析、半導體製造、顯示麵板、太陽能電池、光學器件、磁記錄等領域。靶材通常由“靶坯”和“背板”組成，靶坯由高純金屬、合金、陶瓷或複合材料製成，背板則（zé）起到固定靶坯並（bìng）導（dǎo）熱（rè）導電的作用。
靶材是製備高品質薄膜的關鍵（jiàn）材（cái）料，其純度必須（xū）達到99.95%以上，密（mì）度應達到理論密度的90%以上，且應具有均勻的形狀與尺寸。此（cǐ）外，一個高潔淨度（dù）和高光潔度的表麵有（yǒu）利於實現均勻（yún）的膜層沉積。
在濺射鍍膜過程中，若靶材表麵附著有油汙、灰塵、顆粒狀（zhuàng）雜質等異物，會引起電弧放電，導致靶材的一（yī）部分變為（wéi）熔融（róng）態並向各個方向飛（fēi）濺，附著在基板或已成膜的鍍膜上，將（jiāng）降低鍍膜（mó）質量，進而影響產品的合格（gé）率，導致生產成本增（zēng）加。因此，必須對靶材進行充分的清潔，確保靶材（cái）的清潔度。
在（zài）靶材的製備過程（chéng）中，超聲波清洗（xǐ）技術（shù）被廣泛應用於去除（chú）靶材（cái）表麵（miàn）的各種汙染物（wù）。從原材料（liào）的初步清洗到成型、拋光後的精細清洗，再到最終產品的出廠前清（qīng）洗，超聲波清洗（xǐ）技術貫穿靶材生產（chǎn）的每一個環節。
原材料的（de）初步清洗
在靶材製備（bèi）的起始階段，原材料表麵可能沾有油汙、灰塵、氧（yǎng）化物等汙（wū）染物。如果這些汙染物不被有效去除，它們將摻雜進隨後的熔煉、鑄造等成（chéng）型過程中，降低靶材的純度。超聲波清洗能夠深入材料表麵的微觀結構，迅速去（qù）除附著的汙染物，為製備高質量的靶材打下（xià）堅實（shí）基礎。
成（chéng）型後的清洗
靶材在經過熔煉、鑄造或壓製成（chéng）型（xíng）後，表麵可（kě）能會形成新的（de）氧化物層或殘留加（jiā）工助劑。超聲波清洗技術能夠有效去（qù）除這些物質，確保靶（bǎ）材表（biǎo）麵達到（dào）所需的潔淨度，為後（hòu）續的機械加工（gōng）和熱處理工藝提供保障。
靶材拋（pāo）光後的精細清洗
靶材在經過（guò）機械（xiè）或化學拋光後，表麵光潔度（dù）得到顯著提升，但同時也可能引入（rù）新的微小顆粒或化學殘留物。應用超（chāo）聲波（bō）清洗技術（shù）可以（yǐ）進一步清除這些汙染物，確保（bǎo）靶材表麵達到高光潔度標準，滿（mǎn）足（zú）薄膜製（zhì）備過程中對靶材表麵質量的嚴格要求。
背板綁（bǎng）定前清洗
背板起到（dào）將濺射靶材（cái）固定（dìng）在機台內的作用，高純金屬的濺射靶坯與背板可通（tōng）過不同的（de）焊接工藝進行接合（hé）。在靶坯與背（bèi）板接合前，需要將表麵清潔幹（gàn）淨，以去除各類有機汙染（rǎn）物（拉伸油、切削油、清洗劑、脫模蠟、膠黏劑、助焊劑等），保證綁定材（cái）料的牢（láo）固性和可靠（kào）性。
鍍膜前清（qīng）洗
常用的靶材鍍膜工藝有物（wù）理氣相（xiàng）沉積、化學氣相沉積、磁控濺射等，通過在靶材表（biǎo）麵形成一層薄膜，可以（yǐ）提高其性能和耐用性。超聲波清洗是靶（bǎ）材鍍膜（mó）前非常重要的一步，可以去除靶材表麵（miàn）的油汙、氧化物（wù）和金屬雜質等，提高膜（mó）層質量和附著力。
出廠前（qián）清洗
在靶材（cái）即將出廠前，進行最終的超聲（shēng）波清洗是確保產品達到客戶要求的重要步驟。采用超聲（shēng）波清洗可有效提升靶材（cái）表麵的清（qīng）潔（jié）度、減少黑（hēi）色氧化物產生，提升高質量膜層（céng）的沉積效率。
超聲波清洗是一種有效的靶材清洗方法，其原理（lǐ）是利用超聲（shēng）波在液體中的空化作（zuò）用、加速度作用及直進流作用對液體和汙物直接、間接的作用（yòng），使汙（wū）物層被分散、乳（rǔ）化、剝離（lí）而達到清洗目（mù）的，具有清（qīng）洗效果好、清洗速度快、不損傷靶（bǎ）材表麵、環保節能等優點。
在靶材的超聲波（bō）清洗中，主要采用噴淋清洗和超聲波（bō）清洗工藝（yì）對靶材進行全麵的清洗，清洗後（hòu），使用烘幹裝置將靶材烘幹（gàn），避免留（liú）下水印和二次汙（wū）染。
清（qīng）洗後的靶材應存儲在真空包（bāo）裝（zhuāng）中，使用防潮劑（jì），並存放在密封、清潔的環（huán）境（jìng）中，以避免氧化和汙染，確保靶材的高清潔度（dù）和性能。
超聲波清洗技術在（zài）靶材製備過程中發揮著不可或缺的（de）作用，為靶材的表麵帶來前所未有的清潔度，確保了其在薄膜製備中（zhōng）的（de）卓越性（xìng）能，提（tí）升產品（pǐn）的市場競爭力。
400-878-5188
sa131@66mma.com
集團網站
商（shāng）用儀器（qì）
