單晶矽超（chāo）聲波清洗機
2020年02月（yuè）13日
單晶矽（guī）超聲波清（qīng）洗機是一種用於清洗晶矽片等精密物件的清洗設備，從晶棒上切割下來的單晶矽片經過倒角、雙麵研磨、拋光等工序加工後，其表麵會附著（zhe）各種汙染（rǎn）物。隨著集成電路對矽（guī）片質量要求越（yuè）來越高，對（duì）矽片表麵的汙染物有著極其嚴格的要求和控（kòng）製。如果單晶矽（guī）片沒有清洗幹淨則會嚴（yán）重影（yǐng）響器件的質量和成品率，清洗也成為單（dān）晶矽片製造（zào）過程中重要的步驟。
單晶矽（guī）超聲波清洗機是通過超聲波振動在液體中形成微小的氣泡，這些（xiē）氣泡（pào）由（yóu）於超聲波空化作用（yòng）快速地破裂而產生微小的擦洗從而出去單晶矽片表麵的汙（wū）染物。超聲波清（qīng）洗技術在半導體行業中已經（jīng）是一種廣泛應用（yòng）到的清洗方式，它具有清洗效果好、操作（zuò）簡單等優勢。在單晶矽片的製作過程中大部分步驟為清洗工藝，在清洗矽片中應正確的使用單晶矽片超聲波清洗機，單晶（jīng）矽（guī）片的潔淨度對半導（dǎo）體器件（jiàn）的性能起著至關重（chóng）要的作用。
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